渦輪分子泵的使用要點(diǎn)

2022/11/01

1、不能在前級(jí)泵工作時(shí)(前級(jí)管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸氣迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。

2、分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。

3、選擇系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。

4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。

5、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。