薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理和測(cè)量方法

2022/10/26

薄膜真空計(jì)也是一種理想的全壓計(jì)，不受氣體種類(lèi)的影響，且精度高、反應(yīng)快，溫度影響范圍小，可作為標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)使用。那它的原理又是怎樣的呢，一起來(lái)了解下。

　　一、薄膜真空計(jì)的測(cè)量方法

　　薄膜真空計(jì)屬于彈性變形真空計(jì)中的一種，它獲得的壓力參數(shù)，是通過(guò)真空計(jì)中膜片在壓力差作用下產(chǎn)生彈性變形量，經(jīng)過(guò)信號(hào)變送而來(lái)。具體的變形量的測(cè)量方式還有機(jī)械的、光學(xué)的以及電學(xué)的這些形式。其中，電測(cè)量方式可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)地遠(yuǎn)距離測(cè)量，靈敏度高，變形量與電信號(hào)之間的變送方式有電感式、壓電式、電阻應(yīng)變式以及電容式這幾種。目前電容式的薄膜真空計(jì)應(yīng)用較為廣泛。下面，我們就來(lái)簡(jiǎn)單了解下電容式薄膜真空計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)原理。

　　二、薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)原理

　　電容式薄膜真空計(jì)主要由電容式壓力傳感器（電容式薄膜規(guī)管）和測(cè)量線路兩部分組成。

       薄膜規(guī)管的主要結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)結(jié)構(gòu)完全相同的圓形固定電極和一個(gè)公用的膜片構(gòu)成的活動(dòng)電極。活動(dòng)電極薄膜將規(guī)管空間分成密封的兩個(gè)空間——測(cè)量室與參考室。固定電極和活動(dòng)電極薄膜構(gòu)成差動(dòng)電容器，并作為電橋的兩個(gè)臂布置在線路當(dāng)中。當(dāng)活動(dòng)電極薄膜處于中間位置時(shí)，兩個(gè)電容器的電容量相等。如果當(dāng)活動(dòng)電極薄膜由于壓差作用，開(kāi)始偏離中間位置時(shí)，兩個(gè)電容器的電容量就會(huì)發(fā)生變化，使其中一個(gè)增大，一個(gè)減小。電容的變化會(huì)使電橋產(chǎn)生不平衡，因而會(huì)產(chǎn)生輸出電壓，將該輸出電壓經(jīng)放大器放大后，再由檢波器轉(zhuǎn)換成直流電壓后即可進(jìn)行測(cè)量、輸出。而不同的輸出電壓就對(duì)應(yīng)著不同的氣體壓力。

　　以上這些就是薄膜真空計(jì)測(cè)量真空壓力的簡(jiǎn)單原理了。