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真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法

2022/08/18

隨著基礎(chǔ)工業(yè)及高新技術(shù)產(chǎn)品的發(fā)展,對優(yōu)質(zhì)、高效表面改性及涂層技術(shù)的需求向縱深延伸,國內(nèi)外在該領(lǐng)域與相關(guān)學(xué)科相互促進(jìn)的局勢下,表面改性與涂層工藝模擬和性能預(yù)測等方面都有著突破的進(jìn)展。以下就和大家介紹一下真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法:

1、目視監(jiān)控:使用眼睛監(jiān)控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準(zhǔn)確,需要依靠經(jīng)驗。
 
        2、極值監(jiān)控法:當(dāng)膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當(dāng)反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(入)的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大,因為當(dāng)反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
 
        3.定值監(jiān)控法:此方法利用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。
 
        4.水晶振蕩監(jiān)控:利用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個不好之處就是當(dāng)膜厚增加到一定厚度后,振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系,此時必須使用新的石英振蕩片。


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