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2022/03/15
擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵,它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。擴(kuò)散泵是借助于噴嘴中高速?lài)姵龅挠驼羝麌娏鞯膭?dòng)量而輸送氣體的真空泵。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)運(yùn)動(dòng)件、噪音很小、使用方便、維護(hù)容易、在高真空段有較大抽速,單位抽速所需制造成本較低等,因此,其應(yīng)用面很廣。
缺點(diǎn):返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來(lái)擴(kuò)散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問(wèn)題。
由于真空設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響,擴(kuò)散泵的性能可能會(huì)逐漸變壞,現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問(wèn)題如下;
1)極限真空變低,原因:
a.系統(tǒng)中有滲漏;
b.系統(tǒng)太臟;
c.泵油污染;
d.加熱功率不夠;
e.冷卻水不足;
f.過(guò)量或過(guò)冷的冷卻水;
g.前級(jí)壓力高;檢查密封性能及前級(jí)管道是否有泄漏現(xiàn)象;
h.快冷管內(nèi)有水。
2) 抽氣較慢,原因:
a.加熱功率低;
b.油量不足;
c.噴帽安裝位置不當(dāng)或受損。
3)進(jìn)口壓力波動(dòng),原因:
a.加熱器輸入功率不當(dāng);
b.油脫氣;
c.擴(kuò)散泵進(jìn)口前面系統(tǒng)有滲漏。
4)工作腔污染大,原因:
a.前級(jí)壓力高;
b.在高于10-1Pa壓力下長(zhǎng)期工作;
c.系統(tǒng)操作有誤。
5) 返油率過(guò)大,原因:
a. 頂噴嘴帽松動(dòng),間隙過(guò)大;
b. 加熱功率不對(duì)。
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