2021/07/29
真空鍍膜主要指需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,PLD激光濺射沉積等很多種。
主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的叫做基片,鍍的材料叫做靶材。
基片與靶材一同放入真空室內(nèi)。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面成分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。
濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面成分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。
典型的真空鍍膜,包括了錄像帶,數(shù)據(jù)磁帶DAT,以及很多電極的制作過程。
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